基于数字微镜器件的亚像素分辨光刻机
项目简介:
本项目的核心研究方向为基于数字微镜器件(DMD)数字光刻原理的光纤器件亚像素分辨数字光刻系统。功能性光纤器件是光纤通信、光纤传感等技术领域的关键器件,加工成本高、效率低是目前制约其产业化生产的瓶颈问题,探寻其加工技术已成为世界范围的研究热点。
创新之处:
本项目继承了基于DMD的数字光刻系统的先进性,是高精度、低成本、高效率的光纤器件加工系统。项目整机造价较低,光纤器件批量制造耗材成本较低,可为推动光纤器件的产业化生产提供源动力。
责任编辑:何珏